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    美國SONIX超聲掃描顯微鏡ECHO LS

    產品型號: ECHO LS
    品  牌: 美國
    • ≧1 臺
      ¥2885000.00
    所 在 地: 廣東深圳
    更新日期: 2025-10-21
    詳細信息
     品牌:美國  型號:ECHO LS  加工定制:否  
     類型:超聲波  目鏡放大倍數:10000 x 10000 像素  物鏡放大倍數:10000 x 10000 像素  
     儀器放大倍數:2-3000000倍  重量:163500 g 適用范圍:2-3000000倍  
     裝箱數:1套  重量:163500 g 適用范圍:2-3000000倍  
     

    美國SONIX超聲掃描顯微鏡ECHO LS

    工作原理
    通過壓電陶瓷將電信號轉換成超聲波(>20KHz),用超聲波對樣品內部進行高精度地掃描,根據超聲波在不同密度材料中的傳播速度和反射系數的差異,獲得樣品內部不同區域的超聲波透射或反射,再經由軟件算法處理和成像。SAM的核心構成為,電氣部件、機械裝置、聲學部件、軟件系統。

    產品特點
    SONIX Echo-LS 能檢測到小至 0.05um 的缺陷,而且對于 bump、疊 die(3D 封裝)、倒裝芯片及各種傳統的塑料封裝等具有良好的檢測性能。提高生產效率和產量,使用 ECHO 的設備和軟件容易的設置和使用

    Sonix ECHO LS非破壞超聲波掃描是一款提高生產、簡化測試、改進生產率和提高產能的生產和實驗室設備,無論是失效分析實驗室的詳細分析還是生產線檢測,Sonix都能提供一個易于操作的軟件解決方案。
    ﹡WinIC Lab (詳細失效分析工具)
    ﹡WinIC Production (易于操作的、新型的生產工具,專門用于生產的大量分析)


    使用 ECHO 生產軟件改進生產產能和提高生產率:
    很容易設定和使用             監測生產質量
    通過/失效存儲                簽定零件

    被廣泛應用于半導體以及集成電路的制造和封裝測試行業,是一種理想的無損檢測儀器,能夠有效地檢測器件或材料內部的開裂、氣泡、雜質、斷層等缺陷。
    其主要工作原理是,通過壓電陶瓷將電信號轉換成超聲波(>20KHz),用超聲波對樣品內部進行高精度地掃描,根據超聲波在不同密度材料中的傳播速度和反射系數的差異,獲得樣品內部不同區域的超聲波透射或反射,再經由軟件算法處理和成像。SAM的核心構成為,電氣部件、機械裝置、聲學部件、軟件系統。

    產品特點
    SONIX Echo-LS 能檢測到小至 0.05um 的缺陷,而且對于 bump、疊 die(3D 封裝)、倒裝芯片及各種傳統的塑料封裝等具有良好的檢測性能。提高生產效率和產量,使用 ECHO 的設備和軟件容易的設置和使用

    工藝過程監測
    合格/失效分選
    專 * 認證
    SONIX 掃描探頭頻率范圍從 10MHz 到 300MHz,適合各種類型的應用和材料。

    關鍵特點:
    減少實驗室空間(占地面積小)
    鍵盤快捷鍵(方便移動操作)
    全焊接機身框架(促進平臺穩定性)
    降低水槽高度(人體工程學設計)
    可同時進行反射掃描和透射掃描
    *大 360 度可視
    超大掃描面積
    水槽底部傾斜(易于排干水)
    探頭隨 Z 軸移動(取代托盤上下移動)
    可滑動支架
    符合歐洲機械指令
    緊湊、穩定的結構設計(低維護)
    符合 CE,SEMI S2,NRTL
    可滑動的電氣面板(方便維護)
    防靜電涂層(安全罩、水槽、門等)

    Sonix 探頭的頻率范圍從 10MHz 到 300MHz,為能適用于所有類型的應用和材料設計


    其它特性

    節省潔凈室空間 整體焊接結構(改進平臺的穩定性)
    輕便(移動方便) 可選反射與透射同時進行(快速偵測缺陷)
    減低高度,節省成本 大面積的掃描區域(可放多個 tray 盤或大樣品)
    傾斜缸底(為能完成排水) Z 軸探頭移動(替代 tray 架子移動)
    可抽出式架子(可擺放夾具和樣品) 符合 CE, SEMI S2, NRTL
    設計緊湊(可節省維護成本) 在安全蓋、槽及門上有靜電涂層









    美國SONIX超聲掃描顯微鏡ECHO LS規格

    X 軸
    定位裝置:線性伺服馬達, 線性伺服馬達精度高,無磨損,無需定期做保養校正
    *大掃描速度: 1000mm/秒
    馬達精度: +/- 0.5 微米
    線性光柵尺精度: 0.5 微米
    *大掃描面積: 350mm

    Y 軸                                                     Z 軸
    定位裝置:步進馬達                                            定位裝置:步進馬達
    精度: 0.25 微米                                             精度 : 0.25 微米
    *大行程: 350mm                                             *大行程: 50mm
    夾具
    托盤夾具,掃描平臺以拖住整個 tray 掃描
     
    機身尺寸和重量
    .   31 inches X 31 inches X 48 inches
    .   or 76.66 cm X 76.66 cm X 121.92 cm
    .   360lbs. or 163.5kg
     

    過濾系統
    .     循環泵和 5 微米過濾器,有自動水循環系統,可把水中的雜質過濾,大大減少雜質對掃描結果的影響

    顯示器
    .     雙顯示器

    其它
    .     高對比度水槽底
    .     360 度可見,更方便觀察樣品情況

    WinIC 軟件
    TAMI: 一次掃描可同時獲得*多 100 張 C 超掃描圖像, 在需要時,可自動調節焦距,可看到 IC 所有的分界 面,無需重掃,所有的分界面成像比操作者解釋波形更直觀
    穿透掃描:包括穿透掃描接收器、探頭架、探頭線
    掃描模式:
    A scan: 點掃描模式, 示波器上顯示出反射波的相位和大小來檢測缺陷,用于確認檢測結果
    B-scan: 橫截面掃描,顯示每個界面垂直 x 方向的截面圖
    C-scan: 面掃描,在一個界面對焦后顯示的平行 x 方向的圖片,檢測的缺陷: 離層, 芯片裂縫
    TAMI: 多層掃描,顯示所有界面上平行于 X 方向的2 ~999 層圖象
    T-scan: 穿透掃描, 和 X 射線檢測相似的以透射超聲波為信號的檢測方法

    數據獲取: WinIC
    圖像像素: 10000 x 10000 像素,像素指標越高, 圖像放 大后的清晰度越好
    保存圖像格式: TIFF, PCX, BMP, JPG 或其它格式
    數據檢測方法: T.I 分析方法,采用 TI 方法對缺陷點進 行分析及判斷, 會更加準確.
    相位檢測:有
    射頻增益: 80dB,高增益使能量更大, 具備更強的穿透 能力


    軟件功能:
    自動計算缺陷面積 圖像增強
    厚度測量
    文字注釋

    著色功能
    距離測量
    多幅 A-Scan 圖像 Z 軸驅動限制

    Sonix Scan Mode(Sonix 掃描模式)
    1. A-Scan(單點掃描)
    2. B-Scan(橫截面掃描)
    3. C-Scan(面掃描)
    4. TAMI(多層掃描)
    5. T-scan(穿透掃描)
     

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